1.外觀尺寸：4200mm (L)χ1700mm (W)χ1950mm (H)
2.進料區(qū)：可放置625mmχ505 mm料盤二十盤，一盤Max 35個治具，一次入料Max可達700個治具，自動送料盤結(jié)構(gòu)配置一個KY- 400高真空分子泵或10 FCryo pump及採用Rotary pump + Booster之低真空pump組合，抽氣速率可達10000 L/hr
3.鍍膜製程區(qū)：本區(qū)域設(shè)計共8個濺射陰極，採用上方四個、下方四個，並以左右對稱之方式設(shè)計，配置一個10FCryo pump，前後 各配置一個(共兩個)方形閘閥，使入料及出料可保持真空。
4.出料區(qū)：二十盤料盤，Max700個治具，一次出料自動收料機構(gòu)。
5.電控裝置區(qū)：採用日本三菱PLC，高信賴度，易於保養(yǎng)維護。
二：設(shè)計概念：
採用最簡化即是最佳化(Simple Is The Best)設(shè)計理念。針對以下問題點做全面考量：
• 腔體尺寸
• 機構(gòu)設(shè)計
• 抽氣系統(tǒng)設(shè)計
• 靶材更換便利性
• 設(shè)備維護保養(yǎng)
• 鍍膜品質(zhì)需求
• 軟體功能設(shè)計
• 生產(chǎn)效率
三：系統(tǒng)特色
• 腔體採用模組化設(shè)計，易於搬運及組合，機構(gòu)易調(diào)校
• 自動送料、收料系統(tǒng)
• 多靶濺射，生產(chǎn)速度快
• 軟硬體高度整合以減少人為操作錯誤的可能性
• 圖形化操作介面，易學(xué)易操作，動態(tài)顯示設(shè)備運轉(zhuǎn)現(xiàn)狀
• 控制電路板佔用空間小，設(shè)計上易維修與查線
• 附換靶臺車，省力方便。
四：系統(tǒng)組態(tài)及系統(tǒng)規(guī)格
4.1系統(tǒng)組態(tài)：
| 項目 | 名稱 | 規(guī)格型號 | 數(shù)量 | 備註 |
| 1 | 真空腔膛 |
三腔式不銹鋼SUS304 |
|
|
| 2 | 磁控濺射陰極 | 5”×22” | 8 | |
| 3 | 直流濺射電源 | 8KW（ADL） | 8 |
德國 |
| 4 | 機械真空泵 | ULVACVDN-902 | 1 | |
| 5 | 高真空分子泵 | KY-400分子泵 | 3 |
或冷凍泵CTI 10F |
| 6 | 高真空冷凍壓縮機 | 9600 | 3 | |
| 7 | 機械真空泵+Booster | ULVAC VDN-902+NB600 | ||
| 8 | 軸封 | 採用磁性流體斷真空 |
5 |
|
| 9 | 大門閥 | 10” | 3 | |
| 10 | 高低真空計 | 美國G.P | 共4 | |
| 11 | Throttle Valve | 蝶形 | 1 | |
| 12 | 自動GAB流量控制 | Ar | 1 | |
| 13 | PLC觸控系統(tǒng) | 1 | ||
| 14 | 料盤 |
625mm x 525mm |
20片 | |
| 15 | 換靶臺車 | 1臺 |
4.2系統(tǒng)規(guī)格及技術(shù)指標(biāo)：
1. 控制系統(tǒng)；
採用三菱PLC自動控制+人機介面
2.腔體Chamber
材質(zhì)：SUS304不銹鋼材質(zhì)外加Water Jacket出料區(qū)、進料區(qū)大門材質(zhì)為鋁合金
3.電漿源與靶材
電漿源：磁控濺射源x 8、水冷式〈上方四靶，下方四靶〉靶材尺寸：5”x 22”x 1/2”Target
固定方式：Clamp type
4.DC電源供應(yīng)器
MAX 8 KW水冷式
地址：寧波市海曙區(qū)集士港工業(yè)區(qū)中塘路47-1號
電話：0574-87462158，
手機：湯先生：13306659589
郵箱：junying@jyjyj.com
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